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編輯者:信德不銹鋼
發(fā)布日期:[2021-11-20 16:47]
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山東激光切割廠家講光束聚焦工件位置
精密切割中,對切口寬度有相當嚴格的要求,用于微電子工業(yè)的精密切割。以硅的劃片為例,在塊硅片上制作了大量組件,不同組件之間的距離約為um,
那么,過或um的切口固然定毀壞元件,即使是接近百微米的切口,也因熱擴散等作用而嚴重影響半導體組件的功能。所以,如果要求切口和兩邊組件的距離均為-um時,則切口寬度便不得過~um。
為了獲得窄的切口寬度,不但需要激光束聚焦光盡量小,而且需要以的工件位置予以適當配合,使切口寬度合家工要求。光束聚焦與工件位置直接影響精密切割質量,下面討論與其有關的因素。
、光束聚焦
從激光器輸出的光束,般都具有毫米量的束握。因此,在用于精密切割之前,須先把它聚焦,將束腰壓縮百左右,這樣既可使切口寬度減小,又可功率密度,對切割為。透鏡焦距越小,聚焦越好,所以,通常都選用短焦距透鏡聚焦。
二、工件位置
為了精密切割的切割精度,把光束聚焦還不夠,尚需仔細待家工工件的位置。
很,如果工件和聚焦后的光束束腰之間有個不容忽視的距離,那么,盡管束腰已被壓縮得小,但落到工件上的光卻可能過所要求的值。
需要調指出的是,由子聚焦后的光束束腰很小,發(fā)散角很大,因而,旦偏離束腰位置,光的是不可忽視的。
三、激光切割的原理
由于被家工材料的X質不同,切割原理通常分為兩類。切制金屬和某些介質材料時,先把材料蒸發(fā)或熔化,然后(般通過吹氣)把熔融物從光作用區(qū)排出,而切割硬脆材料時,則是熱應力,使材料沿裂紋斷開。
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